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LC热点测试

在IC表層塗佈液晶,利用液晶遇熱轉態特性,以顯微鏡搭配偏光鏡來觀察液晶轉態熱點。

可做漏電分析。利用漏電時產生的熱,使液晶轉態達到定位漏電點;若漏電流太

小,可搭配thermo-chuck來控制樣品溫度,使微小漏電流也可使液晶轉態達到定位。

可偵測metal short、metal bridge 、 poly short 、active area short …short fail case。

可偵側chip內耗電量較大的區域。

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